Static-dissipative
靜電管理
帶導電結構／塗層，快速導走靜電，不吸晶圓、不傷晶片。
Wafer Arm (Fork)
陶瓷手臂｜晶圓搬運手臂・氧化鋁陶瓷手臂
Ceramic Arm · Wafer arm (fork)
陶瓷手臂又稱晶圓搬運手臂、晶圓傳送手臂（end effector），是設備在機台之間傳送晶圓用的叉形手臂。佐和科技以氧化鋁陶瓷依設備客製，表面可做抗靜電處理。
表面阻抗 Surface resistance
10×10⁶ ＜ Z ＜ 9.99×10⁸Ω/sq
材質 Material
氧化鋁陶瓷
尺寸 Dimension
依需求客製
Features
五個特點
晶圓搬運手臂（牙叉），用於半導體晶圓傳送搬運。氧化鋁陶瓷，帶導電結構／塗層，快速導走靜電，不吸晶圓、不傷晶片。客製化、工廠自產。
Ultra-clean
潔淨環境
陶瓷緻密，不掉屑、不析出雜質，半導體潔淨 fab 使用。
Robust
耐磨與耐熱
氧化鋁陶瓷，硬、耐磨、耐高溫、抗腐蝕。
Stable precision
搬運定位精度
熱脹冷縮小，加工準，搬晶圓時定位誤差小。
客製與成本
依設備客製；工廠自產，成本低廉。
Specification
產品規格
| 材質Material | 氧化鋁陶瓷（Alumina），也可選用金屬材質 |
|---|---|
| 抗靜電處理Anti-static coating | 可做抗靜電 coating |
| 表面阻抗Surface resistance | 10×10⁶ ＜ Z ＜ 9.99×10⁸ Ω/sq |
| 平整度Flatness | 依需求客製／洽詢 |
| 尺寸Dimension | 依需求客製／洽詢 |
| 適用晶圓尺寸Wafer size | 依需求客製／洽詢 |
Applications
用在哪裡
- 半導體晶圓傳送搬運
在機台之間傳送晶圓；帶導電結構／塗層導走靜電，不吸晶圓、不傷晶片。
Photos
實品照片
Inquiry